本日中微公司颁布发表，旗下的 Prismo UniMax MOCVD 装备定单超 100 腔，迎来新的里程碑。MOCVD 意为一种新型气相内涵发展手艺，能够正在衬底上天生金属有机化合物的化学气相沉淀。

中微公司的 Prismo UniMax MOCVD 装备于本年 6 月公布，首要用于氮化镓基 Mini LED 内涵片的量产，制品可用于造造电视、条记本、平板电脑等显现屏。

Prismo UniMax MOCVD 装备专为高机能 Mini LED 量产而设想，经由过程立异的多区温度调理体系，能切确节制托盘部分地区温度，有助于更年夜水平上晋升 LED 波长平均性。另外，优化的喷淋头设想实现了更好的平均性和产出不变性，新一代曲流电源进一步晋升了电能转化效力。

那款装备装备 785mm 年夜曲径石墨托盘，经由过程石墨托盘的分歧设想， 多能够同时加工 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸内涵晶片，能进步产能并有用下降 Mini LED 出产本前。Prismo UniMax® 正在统一体系中可装备多达 4 个反映腔，每一个反映腔都能够自力节制。

据领会，Prismo 系列产物还包罗 Prismo D-BLUE、Prismo A7 和 Prismo HiT3，首款装备于 2013 年正式公布公布，今朝中微公司的 MOCVD 装备正在行业内首要的 LED 出产线上周全投进量产。