韩国光刻胶供给商东进世美肯 (Dongjin Semichem) 暗示，克日经由过程了三星电子的 EUV 光刻胶靠得住性测试(及格)。那款光刻胶为两边协作研发，突破韩国 EUV 光刻胶完整依靠外洋供给商的场合排场， 快无望来岁上半年向产线批量供给。

据 ETNews 报导，业内助士暗示，“东进世美肯正在其位于京畿道的华城工场开辟了 EUV 光刻胶，并正在三星电子的华城 EUV 出产线停止了测试，终究取得了资历。”并弥补道：“两家公司的协作，使得 EUV 光刻胶可以或许以高手艺程度快速开辟。”

据领会，固然 KrF 和 ArF 氟化物工艺的光刻胶正在韩国已年夜量出产，但没有可以或许绘造更邃密电路的 EUV 光刻胶。那是由于开辟很是坚苦，韩国海内利用的 EUV 光刻胶年夜部门是从日本入口的。

2019 年日本出台出口限定办法后，东进世美肯起头操纵本身的根本举措措施，如现有的氟化氩暴光机和比利时半导体研讨所(IMEC)的 EUV 装备，将 EUV 光刻胶外乡化。同时，三星供给了 EUV 测试情况而且胜利进步了光刻胶量量，使其可以或许被胜利利用。

三星是不是会当即正在其半导体产线上利用东进世美肯的 EUV 光刻胶，另有待不雅察。凡是环境下，测试及格后就会用于年夜批量出产。是以，有人展望， 早将于来岁上半年供给。

两边谢绝就 EUV 光刻胶认证是不是经由过程一事向 ETNews 颁发批评。三星有关人士暗示:“没法与协作火伴确认是不是经由过程 EUV 光刻胶考证”，“正正在尽力使半导体质料、零部件、装备(来历)多样化。”