1 月 7 日,南年夜光电正在投资者互动平台暗示,今朝 ArF 光刻胶正在多个手艺节点同时认证,还没有触及 14nm 手艺节点。
南年夜光电还暗示,今朝公司 MO 源和电子特气产物定单处于饱和状况。ArF 光刻胶能够用于 90nm-14nm 手艺节点的集成电路造造工艺。公司今朝研发的产物包括干式光刻胶和淹没式光刻胶。
MO 源方面,公司除正在 MO 源 2.0 研发方面获得停顿外,正在高纯、低硅低氧三甲基铝方面加年夜研发力度,也获得了关头性的停顿,为 MO 源营业从 LED 向 IC、新能源行业的进级转型奠基根本。先驱体方面,除有客造产物的研发和财产化外,还要将客岁从杜邦团体买进的硅先驱体专利停止研发和财产化,今朝停顿顺遂。
电子特气方面,新 进级的超高纯砷烷产物品格鄙人旅客户的测试中已跨越今朝国际进步前辈同业的手艺程度,超高纯磷烷产物进进国际一流造程的芯片企业,标记着公司氢类电子特气已跃居天下前线。混气方面的研发停顿也比力好,正正在主动应对新能源财产和半导体行业进级需求。
据悉,光刻胶营业品控装备方面,南年夜光电采办了一些检测装备,包罗光刻机,也用于检测光刻胶,属于光刻机能的检测,那是量量管控的一部门。对其他的像纯度、颗粒度检测那块,南年夜光电做的是特种电子质料,我们曩昔已有很深的手艺根本。职员装备方面,为了更好地与客户相同,我们礼聘了具有丰硕经历的光刻工程师,来办理光刻胶的量量节制部门。光刻胶原质料方面,我们南年夜光电的刚强就是做分解,以是具有分解单体的才能。部门单体正在海内一些企业已财产化了,不属于洽商的质料,我们间接采办海内的;对一些特别的、高手艺含量的关头单体,由我们本身设想、分解造备。以是能够说,造备光刻胶的单体都已实现了外乡化。
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