12 月 8 日，有投资者向晶瑞电材发问，晶瑞电材是不是具有 KrF 光刻机? 是不是具有批量出产 KrF 光刻胶的前提?

晶瑞电材暗示，公司近期已购得 KrF 光刻机一台，可用于 KrF 光刻胶的暴光测试，同时公司 KrF 光刻胶量产化出产线正正在主动扶植中。

关于公司的主导产物，晶瑞电材暗示，公司的主导产物包罗光刻胶及配套质料、超净高纯试剂、锂电池质料和根本化工质料等，普遍利用于半导体、新能源、根本化工等行业，首要利用到下流电子产物出产进程的洗濯、光刻、显影、蚀刻、往膜、浆料造备等工艺环节。公司专业处置微电子化学品的产物研发、出产和发卖。公司颠末多年研发和堆集，超净高纯试剂首要产物到达国际 高纯度品级(G5)，突破了外洋手艺把持，拟定了多项行业尺度;被中国电子质料行业协会评为“中国电子化学品十强企业”，光刻胶产物范围化出产近 30 年，到达国际中初级水准，是海内 早范围量产光刻胶的少数几家企业之一。

按照官方材料，晶瑞电材子公司姑苏瑞红于 1993 年起头光刻胶出产，是海内 早范围量产光刻胶的少数几家企业之一，今朝可以或许可以或许供给紫外负型光刻胶和宽谱正胶及部门 g 线、i 线正胶等高端产物，具有到达国际进步前辈程度的光刻胶出产线，实施合适当代微电子化学品要求的净化办理，装备了海内一流的光刻胶检测评价装配。承当并完成了国度 02 严重专项“i 线光刻胶产物开辟及财产化”项目，i 线光刻胶已向海内头部的着名年夜尺寸半导体厂商供货，KrF (248nm 深紫外) 光刻胶完成中试，产物分辩率到达了 0.25~0.13μm 的手艺要求，建成了中试树模线。公司于 2020 年下半年采办 ASML XT 1900 Gi 型光刻机装备，ArF 高端光刻胶研发事情正式启动，旨正在研发知足 90-28nm 芯片造程的 ArF (193nm) 光刻胶。与半导体行业客户包罗中芯国际、华虹宏力、上海积塔、长江存储、士兰微、合肥长鑫、扬杰科技等成立了持久协作火伴干系。(校订 / 日新)