
做为集成电路前道四年夜焦点装备,离子注进机装备的研造难度极年夜,仅次于光刻机,持久被外洋装备商利用质料、Axceils 把持。据悉,今朝一条月产 1 万片的 12 英寸逻辑芯片出产线年夜约需求 20 台以上离子注进机,是以国产替换空间极年夜,离子注进机市场远景广漠。
万业企业旗下凯世通依托团队多年的装备研发及财产化经历,获得了客户考证、批量出产、正式定单的顺次冲破,成了海内首家为 12 英寸支流芯片造造厂批量供给半导体离子注进机的造造商,并率先利用正在 28nm 成熟造程产线。
凯世通已具有了正式量产的手艺和良率要求。2021 年,凯世通自立研发的低能年夜束流浪子注进机和高能离子注进机就已接踵顺遂经由过程客户考证并完成验收。
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