正在荷兰南部接近比利时边疆的维尔德霍温镇，座落着全球独一一家可以或许组拆 EUV(极紫外)光刻机的工场。

天下上 年夜的芯片造造商们都需求这类装备。正在出产处置器芯片的进程中，EUV 光刻机 高贵。今朝全球只要阿斯麦(ASML)能造造出 EUV 光刻机。

美国塔夫茨年夜学弗莱彻学院助理传授克里斯・米勒 (Chris Miller) 暗示：“阿斯麦正在造造 EUV 光刻机方面具有市场把持职位。EUV 光刻机是 早进的光刻装备，我们明天利用的每块进步前辈处置器芯片都需求这类装备。”“他们出产的每台机械都是有史以来 庞大的装备之一。”

EUV 是极紫外线的缩写。阿斯麦出产的 EUV 光刻机能够年夜量发生这类波长极短的光，用于正在微芯片上打印藐小而庞大的图案。熔融锡正在极快速率下产生细小 ，从而发生极紫外线，然后经由过程蔡司 平展的镜面反射返来。一小部门 EUV 光粒子照耀到硅片概况，依照芯片设想蚀刻图案。

因为环球规模内的芯片欠缺题目，从游戏机到汽车等产物的定单积存，全部芯片造造行业对阿斯麦 EUV 光刻手艺的需求年夜幅上升。自 2018 年末以来，阿斯麦股价已飙升逾 340%，那使得阿斯麦的市值跨越英特尔等一些顶级客户。

阿斯麦首席履行官彼得・温宁克(Peter Wennink)暗示，自 38 年前公司建立以来，公司一向正在下降芯片造造价前，并将正在“将来几十年”持续如许做。

“天下需求更多的芯片，”温宁克暗示。“以是我们需求造造更多的机械，趁便说一句，只要我们能下降单个晶体管的造形成本，那些机械的均匀发卖价前就会延续增加。”

虽然如斯，温宁克暗示，环球芯片欠缺题目对阿斯麦来讲也是应战。

“我们收到良多来自供给商的信息，他们说，‘我们能够会推延向你们托付模块，由于我们没法取得芯片。’我们则说，‘若是我们得不到芯片，我们就不克不及造造出能出产更多芯片的机械。’”

温宁克说，那对阿斯麦来讲已是常态化题目。

　　2 亿美圆的机械

据温宁克说，正在曩昔的十年时候里，阿斯麦统共售出年夜约 140 套 EUV 光刻机，此刻每套体系的本前高达 2 亿美圆。其新一代高数值孔径(High NA)光刻机的价前将跨越 3 亿美圆。

市场研讨公司 Semico Research 的芯片造造行业阐发师乔安妮・伊托 (Joanne Itow) 暗示，阿斯麦的 EUV 光刻机“太贵了，年夜大都公司都买不起”。她说：“那必定把良多厂商赶出了市场。”因为本前太高，芯片造造商格芯正在几年前就决议遏制出产更进步前辈的芯片。

现在，阿斯麦只向五家芯片造造商出卖这类机械。2021 年，台积电、三星和英特尔那三家芯片造造商占阿斯麦营业的近 84%。台积电暗示，其正在 2019 年率先年夜批量托付利用 EUV 光刻机造造的芯片。自那以来，台积电一向处于抢先职位，芯片造造手艺 少比三星和英特尔抢先一个工艺节点。

阿斯麦成立市场主导职位的时候相对较短。十年前，英特尔、三星和台积电的严重投资对阿斯麦研讨 EUV 光刻机起到了决议性的感化。

“那时我们没有前，”1999 年插手阿斯麦的温宁克回想道。“以是我们进来寻觅协作火伴，那现实上是我们成立公司的根本。以是我们是被迫成了体系架构师和体系集成商。”

时候逃溯到 1984 年，那时的阿斯麦是飞利浦子公司。正在荷兰埃因霍温飞利浦办公年夜楼中间一间漏水的斗室子里，阿斯麦推出 一台用于蚀刻芯片的光刻机。这类机械是 20 世纪 50 年月正在美国尝试室发现问世的。

阿斯麦的 EUV 光刻机履行副总裁克里斯多夫・富凯(Christophe Fouquet)说：“ 一台光刻机看起来就像一台投影仪。“简朴说，机械上有个用来保留你想要投射图案的光罩，然后用一套光学体系把图象投射到晶圆上。”

到 1988 年，阿斯麦正在美国已有 5 个处事处，84 名员工，正在荷兰维尔德霍温设立了一个新的处事处，终究那里同样成为阿斯麦的总部。

“正在全部行业筹办研讨 EUV 光刻机的初期阶段，没有哪个美国公司情愿冒险测验考试，只要阿斯麦做到了。”科技行业做家米勒说，“阿斯麦是一家荷兰公司，但也是一家严峻依靠美国零部件的荷兰公司，其光刻机尤其如斯。”

环球供给链

EUV 光刻机由来自环球近 800 家供给商的多个模块和数十万个零部件构成。每一个模块都正在阿斯麦遍及环球的 60 个工场中完成出产，然后运往维尔德霍温停止组拆。每台组拆好的机械颠末测试后，再拆解运往芯片造造商。运输一套 EUV 光刻机需求 20 辆卡车，或三架满载的波音 747 飞机。

正在 EUV 光刻机呈现之前，芯片造造商能够从阿斯麦、尼康和佳能那三家公司处采办 DUV(深紫外)光刻机。固然日本尼康还是阿斯麦正在 DUV 光刻机市场的首要合作敌手，但想要买 EUV 光刻机只能找阿斯麦。专家暗示，其他公司能够需求几十年时候才气遇上，一方面是由于阿斯麦具有专有手艺，另外一方面是由于它与数百家供给商告竣了常常是独家的庞大协作和谈。

“我们对一些客户来讲是唯一无二的，一些供给商对我们来讲也是唯一无二的，”温宁克说。“有些人说，这类近乎共生的干系比成婚还要糟，由于你不克不及仳离。”

阿斯麦让本身免受供给链风险影响的一种体例是收买部门供给商，好比公司于 2012 年收买了位于圣地亚哥的光源造造商 Cymer，还正在 2020 年收买了光学模组公司 Berliner Glas。固然本年 1 月份 Berliner Glas 位于德国柏林的工场产生了一场火警，但温宁克说，此次变乱不会对本年托付装备形成严重影响。

阿斯麦估计，2022 年公司发卖额将增加 20%;到本世纪 20 年月末，公司年营收将增加 11%。