日前国产芯片厂商格科微颁布发表胜利实现整套ASML光刻机中的关头装备——进步前辈ArF光刻机的搬进。

据格科微暗示，今朝，格科微干净室已按打算分阶段顺遂验收，相干厂务体系装备停顿顺遂，共有六十一台装备已搬进。将来，内涵、蚀刻、薄膜、洗濯等相干装备仍会连续搬进。

格科微暗示，ArF光刻机的胜利引进，是格科微“12英寸CIS集成电路特点工艺研发与财产化项目”扶植的关头节点。

依托自有工场即格科半导体的进步前辈造程，格科微将进一步加速进步前辈CIS工艺和高阶专利像素的研发速率，并正在自有工场实现批量出产考证，从而极年夜收缩高端产物从研发到年夜量供给市场的周期。

据领会，该项目总投资约155亿元，扶植一座12英寸、月产6万片的芯片厂，制作12英寸晶圆CMOS图象传感芯片特别工艺造造出产线，估计年末到达量产状况。

本年2月，格科微表露2021年度事迹快报。陈述期内，公司实现营收70亿元，同比增加8.44%;实现回母净利润12.59亿元，同比增加62.78%;扣非净利润12.03亿元，同比增加57.09%。